Workingspace: 12-1000L
max.workingpressuremax.workingpressure (MPA): 1、2、6、10、20
الحرارة العاملة: 1300
درجة حرارة العمل: 1200 ℃
تفاصيل التغليف: حالات خشبية
وقت التسليم: 5-6 شهور
منطقة التدفئة: واحد/مزدوج/متعدد
قياس الحرارة: W-RE 5/26 THERMOCOUPLE+PROEMEROTER
الحجم: مخصصة
غاز المدخل: N2،Ar،H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
درجة حرارة العمل القصوى (°C): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
ماكس. درجة حرارة العمل.: 1800
ضغط العمل الأقصى: 9.8 بار
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
وقت التبريد: ≤1H/4H/5H/6H/8H (الفرن الفارغ ، التبريد من درجة حرارة التلبد 1450-100 درجة مئوية) درجة حرارة الماء ≤
الحجم: مخصصة
أساسات الطلاء: المعادن ، السيراميك ، الزجاج ، إلخ.
التصاق الطلاء: قوي
السلائف والغازات العملية: ticl4 、 alcl3 、 CH3CN 、 H2 、 n2 、 ar 、 ch4 、 co 、 co2 、 hcl 、 h2s
حجم معدات الطلاء: قابلة للتخصيص
طريقة الطلاء: ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
إجمالي الطاقة: حوالي 40/50/60/80KW
إجمالي الطاقة: حوالي 40/50/60/80KW
أساسات الطلاء: المعادن ، السيراميك ، الزجاج ، إلخ.
وقت التبريد: ≤1H/4H/5H/6H/8H (الفرن الفارغ ، التبريد من درجة حرارة التلبد 1450-100 درجة مئوية) درجة حرارة الماء ≤
درجة الحرارة القصوى: 2000
السلائف والغازات العملية: ticl4 、 alcl3 、 CH3CN 、 H2 、 n2 、 ar 、 ch4 、 co 、 co2 、 hcl 、 h2s
أساسات الطلاء: المعادن ، السيراميك ، الزجاج ، إلخ.
أرسل استفسارك مباشرة إلينا