مكان المنشأ:
الصين
اسم العلامة التجارية:
Ruideer
إصدار الشهادات:
CE
رقم الموديل:
قابلة للتخصيص
فرن طلاء CVD للكربيد السيليكوني لجهاز تحميل الجرافيت أو حلقة الحفر
يستخدم هذا المعدات لتخزين كربيد السيليكون على سطح المواد القائمة على الكربون / القائمة على السيراميك، وخاصة لضغط أشباه الموصلات وحلقة الحفر.
معقّد الجرافيت، وهو قرص من الجرافيت عالي النقاء، مع خندق دائري عليه لتثبيت رصيف الوافر.بعد وضعها في الفرن،سوف تنمو طبقة من الفيلم البلور على سطح الركيزة، والتي هي الطبقة الظهرية.
يتم تنفيذ عمليات الوافرات مثل التصوير الحجري وتثبيت الأيونات على الطبقة البصرية.القاعدة البصرية المصنوعة من الجرافيت من الواضح أنها لا تستطيع تلبية متطلبات النظافة العالية للغاية في عملية أشباه الموصلات.
لهذا السبب، نحن بحاجة إلى استخدام ترسب بخار كيميائي على القاعدة لفافة طبقة من فيلم الكربيد السيليكون كثيف.
| درجة حرارة العمل القصوى ((°C) | 1500 درجة مئوية |
| توحيد درجة الحرارة ((°C) | ≤7 |
| الفراغ النهائي ((Pa) | 10 |
| غازات العمليات | MTS،Ar،H2 |
• معايير التصميم
تم تصميم المعدات وفقًا لمتطلبات الأوعية الضغطية لمكتب الرقابة التقنية والجودة ، وتم تأهيلها بعد اختبار الضغط وشحنها.التصميم والبناء الكهربائي يتوافق مع المعايير الوطنية.
• اختبار ما قبل التثبيت والقبول المسبق
يتم تجميع المعدات بالكامل في مصنعنا، بما في ذلك جميع الأنابيب، أنابيب الفراغ، أنابيب غاز العملية، أنابيب مياه التبريد، أنابيب الهواء المضغوط، الخ.يمكن إجراء الاختبار المسبق بعد التثبيتفي موقع العميل ، يتم توفير خطوط الأنابيب الأخرى من المعدات من قبل العميل. يشمل التثبيت أيضًا توصيل جميع الكابلات.يتم توفير الكابل الرئيسي لربط خزانة الطاقة من قبل العميلبعد التثبيت، نقوم بإجراء اختبارات الفراغ والضغط الإيجابي على جميع المعدات، وكذلك اختبارات وظيفة ميكانيكية وكهربائية.
• تفكيكها ونقلها
سيتم تفكيك المعدات إلى عدة أجزاء كبيرة، وتعبئتها بطريقة موحدة، وتحميلها في مركبة النقل.
• تثبيت موقع العميل وتشغيله
مهندس "ريدل" بعد البيع سيقود الفريق لإكمال عملية التشغيل وتجربة المنتجات والعمل في غضون 20 يوما عمل.العميل يحتاج إلى إجراء الاستعدادات المناسبة وتوفير الأدوات اللازمةوتوفير الدعم من قبل موظفي التثبيت (من المستحسن أن يكون هناك موظف ميكانيكي واحد وموظف كهربائي واحد).
• القبول النهائي
بعد التثبيت والتشغيل ، يمكن قبول المعدات أخيراً وفقًا لمتطلبات العقد التقني.
• التدريب
سوف يقدم مهندسو خدمة البيع لدينا تدريبًا منهجيًا وكاملًا في الموقع ، بما في ذلك التشغيل والصيانة وإصلاح الأخطاء ، إلخ.
• تسليم البيانات التقنية
لضمان التشغيل الآمن وصيانة المعدات ، سيتم تقديم البيانات التقنية التالية للعملاء:
1تخطيط تركيب المعدات
2دليل المستخدم
3قائمة قطع الغيار
4رسومات كهربائية
5. دليل المكونات
أرسل استفسارك مباشرة إلينا
