آلة طلاء CVD أوتوماتيكية للغاية RDE 530L مع غرفتي تفاعل

فرن طلاء CVD أوتوماتيكي للغاية RDE 530L مع غرفتي تفاعل

1.معداتقوةس

1.1 الوضع التلقائي.وفقًا لإعدادات العملية ، يتم التحكم تلقائيًا في المكونات والعمليات الفردية.يشمل التحكم الأوتوماتيكي مفتاح الصمام ، والتحكم في تدفق الغاز ، والتحكم في تدفق السائل ، والتحكم في ضغط المفاعل ، وفرن التسخين ، والتحكم في درجة حرارة حزام التسخين الكهربائي ، وما إلى ذلك ، دون تدخل بشري في العملية برمتها.عملية التشغيل الأوتوماتيكية تحقق معالجة الإنذار الأوتوماتيكي.وفقًا لأنواع الإنذار المختلفة ، فإنه سيدخل تلقائيًا في وضع الإنذار لحماية المنتجات في الفرن.بعد تحرير المنبه ، يمكن إعادته يدويًا إلى الحالة التي كانت عليها قبل التنبيه.

1.2تتم مراقبة العملية طوال العملية ، ويتم حفظ جميع بيانات المستشعر وحالة الصمام في البيانات التاريخية ، والتي يمكن عرضها في أي وقت.

1.3الوضع اليدوي.يوجد قفل أمان ، والذي يدرك تلقائيًا القفل وفقًا لنوع الغاز ودرجة الحرارة داخل المفاعل ، ولا يمكن فتح المفاعل حسب الرغبة.يتم ضبط الوضع اليدوي باستخدام زر واحد ، مثل التنظيف بالمكنسة الكهربائية ، H.₂تطهير ، ن₂التطهير ، وما إلى ذلك ، لا داعي لنقل الصمامات الفردية ومضخات التفريغ يدويًا.

1.4يتم حفظ بيانات التنبيه تلقائيًا ، ويمكن استرداد البيانات التاريخية في أي وقت.

2. بيئة عمل المصنع

2.1 الرطوبة المحيطة ودرجة الحرارة

2.1.1 الرطوبة المحيطة: <90٪ (عند + 35 درجة مئوية)

2.1.2 درجة الحرارة المحيطة: 5 40 ℃

2.2 امدادات الطاقة

2.2.1 مصدر الطاقة: 380V ± 10٪ ، 50Hz ، نظام ثلاثي الأطوار خماسي الأسلاك

2.2.2 مصدر طاقة التحكم: 210V 250V ، 50Hz ، مرحلة واحدة

2.3 مصدر الهواء

2.3.1 ضغط الهواء المضغوط: 6-7 بار ،

2.3.2 ع الضغط: 2-3 بار ،

2.3.3 ح₂الضغط والتدفق: 2-3 بار ، 0-75 متر مربع

2.3.4 ن₂الضغط والتدفق: 2-3 بار ، 0-50 متر مربع

2.3.5 ضغط وتدفق ثاني أكسيد الكربون: 2 - 3 بار ، 0-2.5 ثانية

2.3.6 كو₂الضغط والتدفق: 2-3 بار ، 0-5 ثانية

2.3.7 CH₄الضغط والتدفق: 2-3 بار ، 0-5 ثانية

2.3.8 ضغط وتدفق حمض الهيدروكلوريك: 2-3 بار ، 0-5 ثانية

2.3.9 ح₂ضغط وتدفق S: 2-3 بار ، 0-0.4 متر مربع

2.4 مصدر المياه

2.4.1 ضغط مدخل مياه التبريد: 2-3 بار ، يوصى باستخدام الماء النقي.درجة الحرارة 13-16 درجة مئوية.(يحتاج العملاء إلى أن يكونوا مجهزين بمياه مبردة) ، تدفق مياه التبريد ، 5 أمتار³/ ح.

2.4.2 مصدر المياه الاحتياطية في حالات الطوارئ (يتم إعداده من قبل المستخدم)

الضغط: 1.5 بار - 2 بار.