2026-08-12
لماذا تحتاج أشباه الموصلات إلى الأغشية الرقيقة؟
الشريحة الواحدة هي، في جوهرها، بنية ثلاثية الأبعاد تتكون من تكديس دقيق لمئات من طبقات الأغشية الرقيقة.
كل طبقة تؤدي وظيفة محددة:
| نوع الغشاء الرقيق |
الوظيفة |
المواد النموذجية |
| طبقة موصلة | توصيل التيار الكهربائي وربط الأجهزة | Al, Cu, W, TiN |
| طبقة عازلة | عزل الدوائر ومنع التسرب الكهربائي | SiO₂, SiN, Low-k |
| طبقة حاجز | منع الانتشار وتحسين الموثوقية | TaN, TiN, W |
| مادة البوابة | التحكم في تبديل الجهاز | Poly-Si, Metal Gate |
| طبقة حماية | حماية السطح وتعزيز الاستقرار | SiN, SiON |
| طبقة عازلة | تخزين الشحنة الكهربائية لتحقيق الوظائف |
|
تقنية الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات
كيف يتكون الفيلم؟
1. مصدر المادة: هدف صلب، أو متفاعل غازي، أو مادة كيميائية أولية؛
2. النقل: عبر البلازما، أو الفراغ، أو غاز حامل، أو الانتشار؛
3. تفاعل السطح: يحدث الامتزاز الفيزيائي أو التفاعل الكيميائي على سطح الرقاقة؛
4. النواة والنمو: تجميع الذرات لتكوين النواة، ونمو الجزر، وتكوين الفيلم المستمر، والتقسية؛
5. تكوين الفيلم: تكوين غشاء رقيق بزيادة السماكة، وهيكل كثيف، وبنية مجهرية مستقرة.
أرسل استفسارك مباشرة إلينا
