2026-10-09
نتريد الألومنيوم (AlN) هو بلور يهيمن عليه الروابط المشتركة ، وهو نتريد شبيه بالماس ، يحتوي على فجوة واسعة جدًا (6.2 eV) وطاقة ربط exciton كبيرة للغاية ،تصنيفها على أنها أشباه الموصلات ذات الفجوة المباشرةهيكله البلورى يشبه هيكل BeO و SiC. بسبب الطبيعة الموجهة للغاية لربطاته المشتركة،الـ AlN يوفر خصائصًا فيزيائية وكيميائية متميزة مثل التوصيل الحراري العالي.
ترسب البخار الكيميائي (CVD) هو طريق فعال لإنتاج مسحوق AlN بحجم جسيمات موحد ونقاء عال ومساحة سطحية محددة كبيرة.يتم إدخال مركبات الألومنيوم المتطايرة (هاليدات الألومنيوم أو الألكيلالومنيوم) والأمونيا (NH3) إلى غرفة التفاعل للتفاعلأثناء التفاعل ، يتحلل NH3 لتزويد ذرات النيتروجين النشطة ، ويتم تشكيل مسحوق AlN عن طريق ترسب المرحلة الغازية.
ميزات هذه الطريقة تشمل نقاء المنتج العالي وحجم الجسيمات الدقيقة. عوائدها هي ارتفاع تكلفة الإنتاج ومتطلبات المعدات الصارمة وانخفاض الناتج.الألكيلالومينوم مكلف ويتطلب تخزين خاص ونقل تحت حماية الغازات الخاملةونتيجة لذلك، لا تزال هذه العملية في مرحلة البحث المعملي بشكل رئيسي ولم تصل بعد إلى التصنيع على نطاق واسع.
أرسل استفسارك مباشرة إلينا